В связи с быстрым развитием полупроводниковой промышленности масштабы отрасли стремительно растут, а оборудование для производства полупроводников продолжает совершенствоваться, становясь все более точным и сложным. Благодаря таким преимуществам керамики, как высокая твердость, высокий модуль упругости, высокая износостойкость, высокая изоляция, коррозионная стойкость, низкое расширение и т.д., она может использоваться в качестве деталей в машинах для полировки кремния, оборудовании для эпитаксиальной/оксидационной/диффузионной термообработки, литографических машинах, оборудовании для осаждения, оборудовании для травления полупроводников, машинах ионной имплантации и другом оборудовании, поэтому исследования, разработки и производство прецизионных керамических деталей напрямую влияют на развитие полупроводниковой промышленности. Технические требования к их изготовлению постоянно повышаются.
Высокочистый оксид алюминия, 99,7%-99,9% оксида алюминия.
Высокая механическая прочность, высокая износостойкость, высокая электроизоляция, высокая химическая стабильность, хорошая термостойкость и коррозионная стойкость. В настоящее время шлифовка полупроводниковых кремниевых пластин с использованием керамических шлифовальных дисков является наиболее передовым и эффективным методом шлифовки. Для шлифовки отрезанных кремниевых пластин используется двухсторонняя шлифовка, а качество шлифованной пластины улучшается за счет усовершенствования процесса шлифовки (материал диска, шлифовальная жидкость, давление и скорость шлифовки и т. д.). В частности, использование керамических пластин вместо чугунных позволяет избежать образования царапин или загрязнений на основной поверхности пластины, уменьшить попадание ионов металлов, сократить последующую обработку кремния, снизить время последующей обработки (коррозии), повысить эффективность производства и уменьшить потери при обработке кремния, значительно повысив его эффективность использования.
Полировальная пластина из высокоглиноземистой кремниевой пластиныАлюмооксидная керамика используется в полупроводниковой, нефтяной, химической, фотоэлектрической, жидкокристаллической и других отраслях промышленности, например, для изготовления механических деталей, электронных компонентов, микроволновых индукционных дисков, изоляционных материалов и других деталей, полупроводниковых приборов, вакуумного оборудования, оборудования для производства жидкокристаллических материалов и других компонентов. Крупногабаритная и высокочистая алюмооксидная керамика имеет важное практическое значение в сапфировой и полупроводниковой промышленности. Она является ключевым материалом и расходным материалом для химико-механической полировки (ХМП) сапфировых и полупроводниковых кремниевых пластин. Крупногабаритная и высокочистая алюмооксидная керамика также может использоваться в качестве алюминиевой подложки для ЖК-дисплеев.
Дата публикации: 27 июня 2024 г.