Хемшунпластина для полировки алюминиевых пластинПоворотный стол изготовлен из высокочистого оксида алюминия (99,7-99,9%). Высокочистая керамика из оксида алюминия обладает исключительной жесткостью и превосходной износостойкостью при полировке пластин, а также сохраняет хорошую форму поверхности в течение длительного времени. Она формируется методом PIBM. Благодаря своей непревзойденной термической и размерной стабильности, а также устойчивости к жестким условиям эксплуатации оборудования для обработки микрочипов, она является неотъемлемой частью полупроводниковой промышленности.
Химико-механическая полировка (ХМП), также известная как химико-механическая шлифовка, — это технология, используемая в процессе производства полупроводниковых устройств. Она использует химическую коррозию и механические воздействия для выравнивания кремниевых пластин или других подложек в процессе обработки.
Оборудование для химико-механической полировки (CMP) в основном делится на две части: полировальную и очистную. Полировальная часть состоит из 4 элементов, а именно 3 полировальных поворотных столов и модуля загрузки и выгрузки пластин. Очистная часть отвечает за очистку и сушку пластин для достижения эффекта «сушки на входе и сушки на выходе». Во всем полировальном оборудовании важную роль играет керамика из оксида алюминия.
Алюмокерамика обычно используется для изготовления полировальных дисков, для которых требуются высокая чистота, высокая химическая стойкость и хороший контроль формы и шероховатости поверхности.
Керамический шлифовальный диск Chemshun с содержанием 99,7% Al2O3 изготовлен из современных керамических материалов и подходит для тонкой шлифовки различных материалов, особенно хрупких, таких как пластины, керамика и стекло. Наши керамические шлифовальные диски могут быть изготовлены различных размеров в зависимости от модели шлифовки и полировки.
Дата публикации: 30 мая 2025 г.