Полировальная пластина из 99,7% оксида алюминия с отверстием.
Характеристики продукта
Высокочистый оксид алюминия, 99,7%-99,9% оксида алюминия.
Высокая механическая прочность, высокая износостойкость, высокая электроизоляция, высокая химическая стабильность, хорошая термостойкость и коррозионная стойкость. В настоящее время шлифовка полупроводниковых кремниевых пластин с использованием керамических шлифовальных дисков является наиболее передовым и эффективным методом шлифовки. Для шлифовки отрезанных кремниевых пластин используется двухсторонняя шлифовка, а качество шлифованной пластины улучшается за счет усовершенствования процесса шлифовки (материал диска, шлифовальная жидкость, давление и скорость шлифовки и т. д.). В частности, использование керамических пластин вместо чугунных позволяет избежать образования царапин или загрязнений на основной поверхности пластины, уменьшить попадание ионов металлов, сократить последующую обработку кремния, снизить время последующей обработки (коррозии), повысить эффективность производства и уменьшить потери при обработке кремния, значительно повысив его эффективность использования.
Химические/физические параметры
| свойство | |
| Плотность (г/см³) | 3,94-3,97 |
| Чистота (%) | 99,7-99,9 |
| Твердость по Виккерсу (ГПа) | ≥17 |
| Прочность на трехточечный изгиб (МПа) | 440-550 |
| Коэффициент тепловой диффузии (см²/с) | 0,0968 |
| Модуль упругости (ГПа) | 356 |
Технические характеристики изделия
Диск или кольцо из высокочистого оксида алюминия диаметром 850 мм и толщиной 45 мм или менее (размер может быть изменен по индивидуальному заказу).
Мы также можем производить керамику следующих высококачественных характеристик:
1, 1500x600x25 мм под длинной доской, полосой, квадратной доской, листом;
2. Направляющие рельсы размером менее 1000x45x45 мм;
3. Пустая труба, цилиндр, электрическая вакуумная трубка и т. д. диаметром φ300–600 мм и длиной 500 мм или менее.
4. Возможно изготовление на заказ керамических изделий из высокочистого оксида алюминия различной формы и технических характеристик.
Преимущества керамики Чемшун
Мы обладаем независимыми правами интеллектуальной собственности на технологию самотвердеющего формования PIBM и специализируемся на производстве высококачественных тонких керамических компонентов. Новая технология преодолевает деформацию и растрескивание крупных керамических заготовок в процессе подготовки, что значительно оптимизирует характеристики продукции по сравнению с крупными керамическими деталями, изготовленными традиционными методами.
Полировальные диски из оксида алюминия, производимые компанией Pingxiang Chemshun Ceramics Co., Ltd., изготавливаются методом самотвердеющего формования PIBM. Передовая международная технология PIBM успешно решила ключевую проблему деформации трещин в оксиде алюминия большого диаметра. Технология PIBM открывает новые перспективы для керамической промышленности. Мы производим не только высококачественные полировальные пластины из оксида алюминия, но и другие серии крупногабаритных высокочистых керамических изделий из оксида алюминия, такие как керамические подложки размером 1200*500*20 мм для оборудования для производства ЖК-дисплеев, полупроводниковых шин, вакуумных компонентов, деталей общего назначения, пуленепробиваемой керамики.
